复合集流体真空镀膜装备关键技术开发和应用


北京北方华创真空技术有限公司是北方华创科技集团股份有限公司的全资子公司,是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业,也是 A 股上市最早的集成电路装备企业。
          
北京北方华创真空技术有限公司拥有近六十年真空、热处理、表面处理装备研发和制造经验,公司长期专注于高温、高压、高真空技术的研发与成果转化,自主研发的装备为新材料、新工艺、新能源等绿色制造赋能,作为国内高端装备制造的主力军,研发的真空热处理装备、气氛保护热处理装备、连续式热处理装备、晶体生长设备、PVD镀膜装备、CVD镀膜设备、在金属及非金属材料、真空电子、医疗、新能源(光伏、汽车、氢能、储能)、半导体材料、磁性材料等领域取得广泛应用,助力各领域繁荣发展。
 复合集流体真空镀膜装备关键技术开发和应用
          
2001 年之前,北方华创真空属原电子工业部 700 厂(国营北京建中机器厂),上世纪 60 年代就为国内多条电子管生产线提供真空炉、氢气炉、排气台等核心工艺装备,奠定了中国真空电子管制造产业的基础。

90 年代北方华创真空曾是中国最大的彩色显像管制造装备研制企业,90 年代中后期,随着国家电网的升级换代,真空开关替代传统油开关,北方华创真空为成为中国最大的真空开关管装备供应商。2000 年以后,随着光伏行业的发展,北方华创真空又开始研发光伏行业用的单晶炉产品,目前已成为国内最大的单晶炉制造企业之一。

2019年北方华创真空将半导体领域的镀膜技术下沉到工业领域,在柔性材料镀膜领域推出eMeridian RR-M系列磁控溅射卷绕镀膜设备、eMeridian RR-R系列送丝蒸发卷绕镀膜设备、eMeridian RR-E系列电子束蒸发卷绕镀膜设备

该类设备融合了北方华创真空60余年的真空装备技术、30年的柔性基材卷绕及张力控制技术、20多年的PVD设备和工艺技术。

卷绕镀膜设备系列可以说是“真空+卷绕+半导体”工业设计理念的集合体,目前,对于4.5-6μm的柔性PET/PP材料,送丝蒸发卷绕镀膜设备工艺速度已突破15m/min,磁控溅射卷绕镀膜设备工艺速度已突破20m/min。   
          
北方华创真空基于多年的市场洞察及技术积累,自主研发智能卷绕控制系统(e-Web),确保在高效运行下实现极高的镀膜质量。

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核心技术亮点:

自主设计辊系布局:优化的辊系设计,确保基材在卷绕过程中的最佳路径和稳定性;

张力控制及分割技术:高精度张力控制,智能分割张力,实现多段张力控制,保证基材在高速和低速段均稳定运行张力稳定性高;

自主纠偏技术:实时纠偏,防止基材跑偏、避免薄膜基材翘边缺陷,确保镀膜过程中的精度和质量。
             
同时,北方华创真空自主研发的“黑金鼓”,显著提升了热量管理能力和基材贴合性能,与传统镀膜主鼓相比,“黑金鼓”的技术优势表现在:
          
热管理优化:有效分散和管理热量,实现对基材受热变形的良好控制;

基材贴合度高:提供稳定的贴合效果,提升散热效率、成膜均匀性和质量;

运行稳定性:在高、低速下均能保持走带平稳,适应各种生产速度需求。
          
艾邦将于5月24日苏州举办第四届复合集流体大会,届时北方华创真空曹志强博士将给大家带来复合集流体真空镀膜装备关键技术开发和应用主题演讲,敬请期待!

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嘉宾个人介绍

曹志强

工学博士,任职于北京北方华创真空技术有限公司I-PVD事业单元,副总经理,中国机械工程学会表面工程分会第七届委员会委员。长期从事新能源领域的真空镀膜工艺及装备开发,锂电池复合集流体真空卷绕镀膜工艺及装备开发,氢燃料电池双极板涂层工艺及装备开发,参与完成玻璃基CIGS薄膜电池核心装备及整线工艺开发、柔性GaAs薄膜电池核心工艺及装备开发。

论坛议题及赞助单位

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新能源汽车的快速发展带动了动力电池的高速增长。动力电池生产流程一般可以分为前段、中段和后段三个部分。其中,前段工序包括配料、搅拌、涂布、辊压、分切等,中段工序包括卷绕/叠片、封装、烘干、注液、封口、清洗等,后段主要为化成、分容、PACK等。材料方面主要有正负极材料,隔膜,电解液,集流体,电池包相关的结构胶,缓存,阻燃,隔热,外壳结构材料等材料。 为了更好促进行业人士交流,艾邦搭建有锂电池产业链上下游交流平台,覆盖全产业链,从主机厂,到电池包厂商,正负极材料,隔膜,铝塑膜等企业以及各个工艺过程中的设备厂商,欢迎申请加入。

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