走访洪田科技--2023复合集流体全国巡回调研

方案一：真空磁控溅射复合铜箔设备一体机；

方案二：真空磁控溅射+真空蒸镀复合铜箔一体机设备；

方案三：真空磁控溅射模块化多腔体复合铜箔连续线体设备。

洪田镀膜设备竞争优势：

1. 实现高生产率的技术

① 导入在日本有丰富应用案例的真空镀膜装置技术

② 可高速成膜的圆筒旋转式磁控溅射阴极

• 靶旋转直接水冷，并且通过旋转提高冷却性能、投入高电力，可实现快速成膜；

• 由于靶材表面没有机械性的磨损，有助于减少电弧，降低膜缺陷；

• 靶材有效利用率达到80％以上（平板式靶材利用率：40～45％），靶材寿命长减少耗材费用；

• 减少阴极的安装面积、实现多台安装。

2. 实现高品质成膜技术

① 膜应力、膜致密性、膜结晶粒径控制技术

② 改善基材胶片和膜的密接性

• 采用加热组件去除基材胶片的水分；

• 通过预处理方式去除胶片表面的杂质。

3. 稳定传送超薄基材胶片的技术

① 张力控制和超薄胶片的除皱技术

4. 成膜工艺条件、成膜质量监控技术

① 使用四极质谱仪监控溅射室内的分压

② 在真空中在线监控成膜后导电膜的电阻及电阻的横向分布

5. 高稼动率

① 采用可快速启动或停止的小型分子泵，使装置停止时间最短化；

② 采用超低温水汽捕集机既可缩短真空排气时间，又可营造低水分压的洁净真空环境。

６．优秀的操作性和维护性

 

2023年11月，道森股份接受投资者调研时称，子公司洪田科技研发的“一步法”复合铜箔真空镀膜成套设备“真空磁控溅射一体机”已顺利通过客户测试验证，并已与客户签订正式订单合同，截至目前复合铜铝箔设备合同总金额已超过2亿元。

 

公司在复合铜铝箔设备领域形成产品矩阵，满足不同客户个性化定制需求，提升公司综合竞争力。

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