北方华创(北方华创科技集团股份有限公司)是由 2001年成立的七星华创(北京七星华创电子股份有限公司)和同年成立的北方微电子(北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司),于 2016 年 8 月战略重组而成,是目前国内集成电路高端工艺装备的先进企业,也是 A 股上市最早的集成电路装备企业。真空炉、氢气炉、排气台等核心工艺装备,奠定了中国真空电子管制造产业的基础。

​北方华创--复合集流体真空镀膜装备关键技术开发和应用

90 年代北方华创真空曾是中国最大的彩色显像管制造装备研制企业,90 年代中后期,随着国家电网的升级换代,真空开关替代传统油开关,北方华创真空为成为中国最大的真空开关管装备供应商。2000 年以后,随着光伏行业的发展,北方华创真空又开始研发光伏行业用的单晶炉产品,目前已成为国内最大的单晶炉制造企业之一。
          
60余年的真空装备技术、30年的柔性卷绕及张力控制技术、国内领先的PVD溅射技术,量产复合集流体磁控溅射卷绕镀膜设备是“真空+卷绕+半导体”工业设计理念的集合体,目前卷绕速度已突破20m/s。   
          
北方华创真空多年的技术积累与人才储备,具备多个复合集流体磁控溅射卷绕镀膜设备的自研能力。

以该设备中常见的“阴极”为例,华创自研的阴极具有以下优势
·长条形结构,覆盖范围大,等离子体分布均匀;
·可通入任何气体及混合气,如Ar H2,02及C2H2等;
·无灯丝、无栅极,结构简单、寿命长;
·替代传统的电弧和溅射的金属粒子轰击清洗,避免轰击过程中金属液滴沉积;
·增强磁控溅射反应镀膜,减少反应气体用量,降低靶面毒化程度,提高反应镀膜。
          
自研多个零部件使得华创设备的可靠性大大提高,成本反而降低。镀制的膜层也更加致密和光滑,结合力更好。
          
艾邦将于5月24日苏州举办第四届复合集流体大会,届时北方华创副总经理 曹志强博士将给大家带来复合集流体真空镀膜装备关键技术开发和应用主题演讲,敬请期待!
          
嘉宾个人介绍

曹志强    
工学博士,任职于北京北方华创真空技术有限公司I-PVD事业单元,副总经理。长期从事新能源领域的真空镀膜工艺及装备开发,参与完成玻璃基CIGS薄膜电池核心装备及整线工艺开发、柔性GaAs薄膜电池核心工艺及装备开发,氢燃料电池双极板涂层工艺及装备开发,锂电池复合集流体真空卷绕镀膜工艺及装备开发。
 

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新能源汽车的快速发展带动了动力电池的高速增长。动力电池生产流程一般可以分为前段、中段和后段三个部分。其中,前段工序包括配料、搅拌、涂布、辊压、分切等,中段工序包括卷绕/叠片、封装、烘干、注液、封口、清洗等,后段主要为化成、分容、PACK等。材料方面主要有正负极材料,隔膜,电解液,集流体,电池包相关的结构胶,缓存,阻燃,隔热,外壳结构材料等材料。 为了更好促进行业人士交流,艾邦搭建有锂电池产业链上下游交流平台,覆盖全产业链,从主机厂,到电池包厂商,正负极材料,隔膜,铝塑膜等企业以及各个工艺过程中的设备厂商,欢迎申请加入。

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作者 808, ab

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